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光柵式線性測微計工作原理及輸出信號類型

光柵式線性測微計主要使用傳動型光電線性編碼器，如下圖所示。在這個類型中，光源 (LED) 和檢測器要素 (發(fā)光二 管) 彼此相對，主尺和指示尺 (20μm 間距) 在它們之間。

當光柵尺相對檢測器移動時，透過指示尺窗口的光線亮度連續(xù)變化。同時，輸出兩個同步的正弦波信號形成 90 度相位差。這些信號被放大和分離 (使用插入的附加波形)，并以0.1μm、0.5μm、1μm 和 5μm 的正弦波信號輸出。

光柵式線性測微計處理內(nèi)部檢測到的信號和輸出正弦波信號如下圖所示。這些 90 度相位差的正弦波操作信號相當于 RS-422A 信號，測頭可以獨立使用。但是，某些型號 (LGD 和 LGS) 不能輸出正弦波信號而是輸出 Digimatic 代碼(SPC)，用以鑒定測量位置。